氧化溝工藝的發展及特點

闡述了氧化溝技術的發展以及幾種典型氧化溝工藝的發展和特點,同時討論了氧化溝技術的發展前景.

作 者： 宮宇周 徐建宇   作者單位： 桂林工學院,廣西,桂林,541004  刊 名： 廣西輕工業  英文刊名： GUANGXI JOURNAL OF LIGHT INDUSTRY  年，卷(期)： 2009 25(4)  分類號： X703.1  關鍵詞： 氧化溝   工藝特點   發展前景  

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