摻Nd納米ZnO薄膜特性研究

研究了用真空蒸發法在玻璃襯底上制備稀土摻雜納米ZnO薄膜結構、導電性及光透射性能.結果顯示,在500 ℃氧化、熱處理稀土元素Nd摻雜后能夠明顯改善納米ZnO薄膜的結構特性,薄膜的晶粒尺寸隨摻雜含量的增加而減小.摻Nd使ZnO薄膜的電性能有所改善但使納米ZnO薄膜的光透射性有所降低.

作 者： 李健 賽喜雅勒圖 郝麗娟   作者單位： 內蒙古大學物理系,呼和浩特,010021  刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2003 23(3)  分類號： O484.1  關鍵詞： 真空蒸發   納米ZnO薄膜   摻雜  

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