氮氧混合氣體高壓脈沖電暈放電等離子體的分子束質譜診斷研究

利用具有三級差分抽氣系統的分子束質譜儀為檢測手段,對N2,O2混合氣體的線板式高壓脈沖電暈放電等離子體陰極板區的正離子成分進行了診斷研究.實驗結果表明:在放電反應室N2,O2混合氣體壓力1330～3325 Pa,峰值電壓4～10 kV及放電重復頻率10～100 Hz范圍內,N+2和O+流強相當,N+流強約為N+2流強的2～10倍.N+,N+2和O+流強隨脈沖峰值電壓、放電重復頻率的升高而增大,隨放電氣壓的變化則存在一極值.

作 者： 唐書凱 王文春 徐勇 劉佳宏 楊學鋒 吳彥   作者單位： 唐書凱,王文春,徐勇,劉佳宏,楊學鋒(大連理工大學等離子體物理化學實驗室,大連,116024)

吳彥(大連理工大學靜電與特種電源研究所,大連,116024) 

刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(2)  分類號： O461.1 O461.2+5  關鍵詞： 分子束質譜   高壓脈沖電暈放電   離子檢測   N2+O2等離子體  

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