脈沖激光沉積Al/Ag摻雜功能梯度薄膜

為了尋找制備梯度金屬薄膜的新方法和新工藝,采用脈沖準分子激光掃描沉積技術,在Si(100)單晶襯底上沉積了Al/Ag摻雜功能梯度薄膜,并采用SEM 和XPS 對制備的薄膜進行了微觀分析.分析結果表明,運用合適的激光參數和輔助放電,在沉積溫度300℃時,制備出了Al/Ag組分比近似為5∶ 1的摻雜梯度薄膜.該實驗方法說明,利用脈沖激光與金屬摻雜靶相互作用沉積梯度金屬薄膜是可行的.

作 者： 胡少六 江超 何建平 王又青   作者單位： 胡少六,何建平,王又青(華中科技大學,激光技術國家重點實驗室,武漢,430074)

江超(華中科技大學,激光技術國家重點實驗室,武漢,430074;湖北師范學院,物理系,黃石,435002) 

刊 名： 激光技術  ISTIC PKU 英文刊名： LASER TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 28(5)  分類號： O484  關鍵詞： Al/Ag摻雜薄膜   脈沖激光沉積   微觀分析   工藝參數  

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