微電容加速度計系統的設計

為了在總體上把握硅微加速度計的設計,建立了叉指式硅微加速度計的機械模型,研究了全差分二階∑-△ADC接口檢測電路提取加速度信號,優化了開關電容電路來檢測微小電容變化量,運用微機電專用設計軟件CoventorWare對系統的機電混合模型進行仿真,并給出數字和模擬的分析結果,為加速度計系統的機械部分和電路部分的設計提供整體的更接近實際的設計參考.

作 者： 解磊 蘇偉 陳泉根 XIE Lei SU Wei CHEN Quan-gen   作者單位： 中國工程物理研究院,電子工程研究所,四川,綿陽,621900  刊 名： 傳感器與微系統  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(11)  分類號： U666.122  關鍵詞： 加速度計   微機電系統   仿真  

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